本发明公开了用于蒸镀工艺的掩膜板的制造方法及其结构。掩膜板本体设有开口区域，该方法包括如下步骤：对掩膜板本体的表面镀锌，形成锌层；对掩膜板本体的表面镀铬，形成铬层。该结构包括掩膜板本体、掩膜板本体的表面依次镀覆有锌层和铬层。在掩膜板本体的表面镀有锌层，锌层的厚度的范围较大，可以用来减小开口区域的宽度，使得该掩膜板符合高像素密度的要求，镀有铬层的厚度较小，对于开口区域宽度的影响几乎可以忽略，但是铬层具有较强的硬度，在进行蒸镀时，使得该掩膜板不会发生形变。