记忆体阵列及其非挥发性记忆装置
摘要:
本发明揭露一种记忆体阵列及其非挥发性记忆装置。非挥发性记忆装置包含:基板区、二储存单元、间隙壁结构及二控制单元。二储存单元包含:各与基板区间形成有栅极介电层的二反熔丝栅极结构以及二扩散区。间隙壁结构形成于基板区上及反熔丝栅极结构间,接触于反熔丝栅极结构。扩散区分别为以第一型杂质布植的第一布植区,分别接触于二反熔丝栅极结构其中之一。控制单元各包含:选择栅极以及第二布植区。选择栅极形成于基板区上,并与基板区间形成有介电层,其第一侧与储存单元的二扩散区其中之一接触。第二布植区以第一型杂质布植形成于基板区中,并接触选择栅极的第二侧。
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