发明公开
- 专利标题: 制造太阳能电池的装置和方法
- 专利标题(英): APPARATUS AND METHODS FOR FABRICATING SOLAR CELLS
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申请号: CN201310694563.0申请日: 2013-12-13
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公开(公告)号: CN104465862A公开(公告)日: 2015-03-25
- 发明人: 严文材 , 吴志力 , 徐伟伦 , 吴忠宪
- 申请人: 台积太阳能股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾台中市
- 专利权人: 台积太阳能股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾台中市
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 孙征
- 优先权: 14/025,852 2013.09.13 US
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L21/67
摘要:
本发明提供了一种用于制造太阳能电池的方法,通常包括将太阳能电池子结构传输至腔室。使用连接至腔室的波生成装置产生电磁辐射,从而使波生成装置被设置为邻近太阳能电池子结构。将电磁辐射于应用于太阳能电池子结构的至少一部分上以帮助至少一种金属元素扩散穿过太阳能电池子结构的至少一部分,从而在太阳能电池子结构的至少两种不同类型的半导体材料之间形成半导体界面。本发明还提供了一种制造太阳能电池的装置。
公开/授权文献
- CN104465862B 制造太阳能电池的装置和方法 公开/授权日:2017-01-04
IPC分类: