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流量测量装置
Abstract:
本发明的流量测量装置(1)具备:多个流路,该多个流路设置在供气体流入的入口部(6)与供该气体流出的出口部(7)之间,且该多个流路供气体流通;流量测量部(M1~Mn),其设置于该多个流路的各个流路,用于测量在该流路中流通的流体的流量;以及控制部(3),其根据流量测量部(M1~Mn)的测量结果使一部分流量测量部停止流量的测量动作,并且根据不停止流量的测量动作的其它流量测量部即监视测量部的测量结果来判断是否使一部分流量测量部再次开始流量的测量动作。
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