一种高硬度耐磨损的硼化钒涂层及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种高硬度耐磨损的硼化钒涂层,所述的涂层组成为VxBy,其中y/x=1.5~2.4;所述的涂层由长短不一的柱状晶组成,柱状晶宽度为50nm~300nm,柱状晶长宽比为5~30;涂层密度在4.0g/cm3~4.9g/cm3;所述的涂层利用X射线衍射(XRD)检测,具有高度(001)择优取向。本发明还公开了高硬度耐磨损的硼化钒涂层的制备方法,制备的硼化钒涂层具有高硬度H≥35GPa,摩擦系数为0.4~0.6,对直径6mm的Al2O3研磨球在5N的作用力下,涂层的磨损率为~10‑16m3/N·m数量级。该涂层适合高温、高压下用来增强器件表面的耐磨性,延长器件的使用寿命。
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