发明授权
- 专利标题: 一种阵列基板的制造方法及触摸屏
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申请号: CN201410855457.0申请日: 2014-12-31
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公开(公告)号: CN104503619B公开(公告)日: 2017-09-05
- 发明人: 占伟 , 申智渊 , 杜海波 , 虞晓江 , 明星
- 申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰; 武岑飞
- 主分类号: G06F3/041
- IPC分类号: G06F3/041
摘要:
本发明公开一种阵列基板的制造方法,包括步骤:A)在基板(111)上形成栅电极(112)、栅极线、栅极绝缘层(113)、有源层(114)、数据线、源电极(115a)、漏电极(115b)、第一绝缘层(116)及过孔(116a);B)利用带有狭缝的掩模板在完成步骤A)的基板(111)上形成公共电极(117)和第二绝缘层(118),并在第二绝缘层(118)中形成穿孔(118a);C)在完成步骤B)的基板(111)上形成金属电极(119)、第三绝缘层(120)及像素电极(121)。本发明通过一道光刻制程完成公共电极和第二绝缘层的制作,缩短生产时间,从而提高生产效率,并且减少了一个掩模板的使用,降低了生产成本。
公开/授权文献
- CN104503619A 一种阵列基板的制造方法及触摸屏 公开/授权日:2015-04-08