一种提纯塔产出物的吸附提纯装置
摘要:
为了克服现有技术中尚没有从提纯塔中产出的氟化硅及相关杂质进行提纯的有效方案的问题,本发明提供了一种提纯塔产出物的吸附提纯装置,所述产出物为来自提纯塔的氟化硅及其他杂质,该吸附提纯装置包括脱轻塔、脱重塔、吸附塔、冷却塔、分离塔、吸附柱以及多个精馏塔,各塔之间通过管道相连接,向所述脱轻塔填入所述产出物,所述脱轻塔的产物进入所述吸附塔,所述吸附塔和脱重塔依次连接,且该脱重塔与精馏塔连接,该精馏塔与吸附柱连接,所述吸附柱与冷却塔连接,所述冷却塔与分离塔连接,所述分离塔与吸附塔连接,所述吸附塔与另一精馏塔连接,并且所述脱轻塔和脱重塔分别包括催化燃烧装置和无机盐处理装置。本发明节省了成本,同时保护了环境。
公开/授权文献
0/0