一种新型阻变随机存储器及其制造方法
摘要:
本发明提供一种基于石墨烯氧化物的阻变随机存储器的制造方法。该阻变随机存储器包括栅极、栅绝缘层、源极、漏极、有源区、位于有源区和源极及漏极之间的石墨烯层以及存储单元。存储单元包括上电极、下电极以及上下电极之间的阻变层,其中阻变层为石墨烯氧化物。其中石墨烯氧化物层为石墨烯层经过氧化工艺形成。该氧化工艺可为远程等离子体氧化工艺。石墨烯层的使用,提高了器件的电稳定性以及可靠性。同时采用该方法,降低了工艺难度,提高了生产效率。
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