发明公开
- 专利标题: 一种新型阻变随机存储器及其制造方法
- 专利标题(英): Novel resistive random access memory and manufacturing method thereof
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申请号: CN201410687628.3申请日: 2015-01-23
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公开(公告)号: CN104538548A公开(公告)日: 2015-04-22
- 发明人: 侯涛 , 汤震 , 唐慧刚 , 郭艳红 , 孔德武
- 申请人: 焦作大学
- 申请人地址: 河南省焦作市人民大道东段3066号
- 专利权人: 焦作大学
- 当前专利权人: 焦作大学,黄淮学院,河南农业职业学院,河南工业和信息化职业学院
- 当前专利权人地址: 河南省焦作市人民大道东段3066号
- 代理机构: 郑州红元帅专利代理事务所
- 代理商 季发军
- 主分类号: H01L45/00
- IPC分类号: H01L45/00
摘要:
本发明提供一种基于石墨烯氧化物的阻变随机存储器的制造方法。该阻变随机存储器包括栅极、栅绝缘层、源极、漏极、有源区、位于有源区和源极及漏极之间的石墨烯层以及存储单元。存储单元包括上电极、下电极以及上下电极之间的阻变层,其中阻变层为石墨烯氧化物。其中石墨烯氧化物层为石墨烯层经过氧化工艺形成。该氧化工艺可为远程等离子体氧化工艺。石墨烯层的使用,提高了器件的电稳定性以及可靠性。同时采用该方法,降低了工艺难度,提高了生产效率。
公开/授权文献
- CN104538548B 一种新型阻变随机存储器及其制造方法 公开/授权日:2017-07-11
IPC分类: