发明授权
CN104540581B 机械地流体化的硅沉积系统和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 机械地流体化的硅沉积系统和方法
-
申请号： CN201380036496.1申请日： 2013-05-09
-
公开(公告)号： CN104540581B公开(公告)日： 2016-12-07
- 发明人: 马克·W·达瑟尔 , 大卫·A·布雷斯勒
- 申请人： 罗克斯达技术有限责任公司
- 申请人地址： 美国华盛顿
- 专利权人： 罗克斯达技术有限责任公司
- 当前专利权人： 罗克斯达技术有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国华盛顿
- 代理机构： 北京鸿德海业知识产权代理事务所
- 代理商 袁媛
- 优先权： 13/481,548 2012.05.25 US
- 国际申请： PCT/US2013/040398 2013.05.09
- 国际公布： WO2013/176902 EN 2013.11.28
- 进入国家日期： 2015-01-08
- 主分类号： B01J8/44
- IPC分类号： B01J8/44 ; B01J19/18 ; B01J7/00 ; C01B33/02
摘要：
机械地流体化的系统和工艺允许高效、成本有效的硅生产。可以向受热盘或者锅提供粒子，该受热盘或者锅被振荡或者振动以提供反应表面。粒子在盘或者锅中向下迁移，并且在反应物产品达到希望的状态时，反应物产品在盘或者锅中向上迁移。可以回收废气。
公开/授权文献
- CN104540581A 机械地流体化的硅沉积系统和方法 公开/授权日：2015-04-22
