发明公开

一种多晶硅还原炉炉体
摘要:
本发明公开了一种多晶硅还原炉炉体,所述炉体内设置有3~5层金属隔热板,多层金属隔热板之间通过不锈钢螺栓连接固定在一起,再以螺栓连接的方式将多层金属隔热板固定到炉体内壁面上。隔热板材质为不锈钢,形状与炉体内壁一致,并且隔热板夹层与炉体内腔相通。本发明的多晶硅还原炉炉体,采用多层金属隔热板罩住多晶硅棒,能大幅度减少热量损失,提高炉体内热能的利用率,解决了现有炉体内壁抛光困难和抛光效果差造成的能量浪费的问题,以较低的电能和易操作的技术降低多晶硅的生产成本。
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