Invention Grant
- Patent Title: 预湿用组合物
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Application No.: CN201410586962.XApplication Date: 2014-10-28
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Publication No.: CN104600151BPublication Date: 2017-08-04
- Inventor: 谷津克也 , 大石诚士
- Applicant: 东京应化工业株式会社
- Applicant Address: 日本神奈川县
- Assignee: 东京应化工业株式会社
- Current Assignee: 东京应化工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本神奈川县
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 蒋亭
- Priority: 2013-226686 20131031 JP
- Main IPC: H01L31/18
- IPC: H01L31/18 ; H01L21/22 ; H01L31/068 ; C09D5/00
Abstract:
一种预湿用组合物,其为太阳能电池的制造方法中使用的预湿用组合物,所述预湿用组合物含有质子性的极性溶剂和水,其中所述太阳能电池的制造方法包括:第1涂布工序,在半导体制造用基板的一面旋涂预湿用组合物;第2涂布工序,在旋涂了所述预湿用组合物的所述一面旋涂包含具有第1杂质元素的扩散剂和溶剂的扩散材料,形成所述扩散剂的涂膜;和第1杂质层形成工序,对形成了所述涂膜的所述半导体制造用基板进行热处理,形成使所述扩散剂所具有的杂质元素扩散后的第1杂质层。
Public/Granted literature
- CN104600151A 预湿用组合物 Public/Granted day:2015-05-06
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IPC分类: