- 专利标题: 一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机
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申请号: CN201510066781.9申请日: 2015-02-09
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公开(公告)号: CN104611681B公开(公告)日: 2017-01-25
- 发明人: 朱锡芳 , 陈功 , 徐安成 , 许清泉 , 杨辉
- 申请人: 常州工学院
- 申请人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 专利权人: 常州工学院
- 当前专利权人: 常州常工院技术转移有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 代理机构: 南京知识律师事务所
- 代理商 高桂珍
- 主分类号: C23C14/56
- IPC分类号: C23C14/56 ; C23C14/35
摘要:
本发明公开了一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、冷辊、纠偏装置、两个或两个以上的回转换靶装置、以及与每个回转换靶装置位置相对应的两面开口的阴极小室,开卷机构和收卷机构处各设有一组纠偏装置;阴极小室分布于冷辊包覆有基带的圆周面上,且每组回转换靶装置及与其对应的阴极小室均与冷辊设于同一轴线上;开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时快速更换阴极靶,并利用基材往复运动实现多层膜层的镀制;一次镀膜行程可以完成多层膜层的镀制,大大提高了镀膜效率,尤其适合于大批量高效率生产。
公开/授权文献
- CN104611681A 一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 公开/授权日:2015-05-13