一种超宽带减反射膜及其制备方法
Abstract:
本发明涉及一种超宽带减反射膜,包括基体层,在基体层表面设有由MgF2膜层和TiO2膜层交替组成的多层膜结构,且靠近基体层表面的第一层及靠近空气界面的最外层均为MgF2膜层,所述多层膜结构的厚度为340-370nm。本发明实现了对400~800nm超宽波段可见光的高透射率,残余反射率低于0.2%,镀膜层数较少,简化了制造工艺,降低了制造成本。
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