用于2.5D中介板的设备和方法
摘要:
在2.5D半导体封装配置中,可使用基于聚酰亚胺的再分配层(RDL)减轻施加在连接到中介板的导电互连上的热机械应力。基于聚酰亚胺的RDL位于中介板的上或下面。此外,可通过使用不同直径的微凸块、不同高度的铜柱或多层中介板减少或消除2.5D半导体封装中横向相邻的半导体芯片之间的高度差异,从而相对于矮半导体芯片降低高半导体芯片。
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