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新型SF6气体分流装置
Abstract:
本发明涉及一种新型SF6气体分流装置。其特点是:包括第六三通阀和第一四通阀,该第六三通阀的第一出口和该第一四通阀的第一进口连通,而该第六三通阀的第一进口依次通过第一逆止阀、第一压力表、第一三通阀和进气接口连通,并且该第六三通阀的第二进口依次通过第二逆止阀、第二压力表、第二三通阀和气瓶接口连通;其中第一四通阀的第一出口依次通过第三逆止阀、第三三通阀、第三压力表和第一仪器接口连通,而该第一四通阀的第二出口依次通过第四逆止阀、第四三通阀、第四压力表和第二仪器接口连通。采用本发明的分流装置可以保证微水、纯度、分解产物试验的同时进行,也可灵活实现三台仪器同时进行对比测试。
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