发明公开
- 专利标题: 一种垂直型恒流二极管及其制造方法
- 专利标题(英): Vertical current regulative diode and manufacturing method thereof
-
申请号: CN201510081048.4申请日: 2015-02-15
-
公开(公告)号: CN104638023A公开(公告)日: 2015-05-20
- 发明人: 乔明 , 张康 , 何逸涛 , 代刚 , 张波
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 电子科技大学专利中心
- 代理商 李明光
- 主分类号: H01L29/861
- IPC分类号: H01L29/861 ; H01L29/06 ; H01L21/329
摘要:
本发明提出了一种垂直型恒流二极管及其制造方法,属于半导体技术领域。本发明垂直型恒流二极管包括依次连接的元胞结构和终端结构,所述元胞结构由多个结构相同并依次连接的元胞组成,所述终端结构由截止环和多个依次连接的场限环组成,所述元胞在第一N型重掺杂区和N型轻掺杂外延层之间、嵌入第一P型扩散阱区上表面形成耗尽型沟道区,本发明垂直型恒流二极管采用耗尽型沟道区导电,使得耗尽型沟道区较JFET区先夹断,夹断电压低至5V以下;且当耗尽型沟道夹断后,电流大小不随电压的增大而增大,动态阻抗高,恒流能力好。
公开/授权文献
- CN104638023B 一种垂直型恒流二极管 公开/授权日:2017-10-17
IPC分类: