一种垂直型恒流二极管及其制造方法
摘要:
本发明提出了一种垂直型恒流二极管及其制造方法,属于半导体技术领域。本发明垂直型恒流二极管包括依次连接的元胞结构和终端结构,所述元胞结构由多个结构相同并依次连接的元胞组成,所述终端结构由截止环和多个依次连接的场限环组成,所述元胞在第一N型重掺杂区和N型轻掺杂外延层之间、嵌入第一P型扩散阱区上表面形成耗尽型沟道区,本发明垂直型恒流二极管采用耗尽型沟道区导电,使得耗尽型沟道区较JFET区先夹断,夹断电压低至5V以下;且当耗尽型沟道夹断后,电流大小不随电压的增大而增大,动态阻抗高,恒流能力好。
公开/授权文献
0/0