- 专利标题： 利用掩模对准系统进行工件台基准板旋转探测的方法
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申请号： CN201310634236.6申请日： 2013-12-03
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公开(公告)号： CN104678720B公开(公告)日： 2017-01-04
- 发明人: 袁明波 , 陈小娟
- 申请人： 上海微电子装备有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
- 专利权人： 上海微电子装备有限公司
- 当前专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
- 代理机构： 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅
- 主分类号： G03F9/00
- IPC分类号： G03F9/00
摘要：
本发明公开一种利用掩模对准系统进行工件台基准板旋转探测的方法，用于探测该工件台基准板相对于掩模版的Rx、Ry及Rz旋转量，其特征在于，包括：将掩模版或掩模基准板上的标记经过一投影系统成像至该工件台基准板的标记上；对掩模版或掩模基准板上的标记进行垂直水平向扫描，计算该工件台基准板的标记的垂向对准位置以获得Rx、Ry旋转量；对该工件台基准板的标记进行水平向扫描，根据该工件台基准板的标记的对准位置之差以获得Rz旋转量。
公开/授权文献
- CN104678720A 利用掩模对准系统进行工件台基准板旋转探测的方法 公开/授权日：2015-06-03
