具有增强的电子检测的带电粒子显微术
摘要:
具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法,该方法包括下列步骤:使用检测器来拦截通量的至少一部分,以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij},由此,集合{Ij}的基数是M>1;对每个图像Ij中的每个像素pi,确定累积信号强度Sij,因此产生信号强度的相关集合{Sij};使用集合{Sij}计算下列值:每像素位置i的平均信号强度S;每像素位置i的S中的方差σ2S;将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图:表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图;表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。
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