发明公开
- 专利标题: 具有增强的电子检测的带电粒子显微术
- 专利标题(英): Charged-particle microscopy with enhanced electron detection
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申请号: CN201410718566.8申请日: 2014-12-02
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公开(公告)号: CN104681382A公开(公告)日: 2015-06-03
- 发明人: A.A.S.斯鲁伊特曼恩 , E.G.T.博世
- 申请人: FEI公司
- 申请人地址: 美国俄勒冈州
- 专利权人: FEI公司
- 当前专利权人: FEI公司
- 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 王岳; 陈岚
- 优先权: 13195289.7 2013.12.02 EP
- 主分类号: H01J37/22
- IPC分类号: H01J37/22 ; H01J37/28
摘要:
具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法,该方法包括下列步骤:使用检测器来拦截通量的至少一部分,以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij},由此,集合{Ij}的基数是M>1;对每个图像Ij中的每个像素pi,确定累积信号强度Sij,因此产生信号强度的相关集合{Sij};使用集合{Sij}计算下列值:每像素位置i的平均信号强度S;每像素位置i的S中的方差σ2S;将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图:表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图;表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。
公开/授权文献
- CN104681382B 具有增强的电子检测的带电粒子显微术 公开/授权日:2017-07-07