一种扇出型晶圆级封装方法
摘要:
本发明实施例提供了一种扇出型晶圆级封装方法,可适用于小薄芯片并简化了工艺流程。该扇出型晶圆级封装方法包括:在至少一个芯片的正面上分别制备导电凸柱,将所述至少一个芯片的正面朝上贴装于一个载板上,并对所述至少一个芯片进行塑封,使得塑封后所述导电凸柱的顶端外露在塑封体之外;在外露导电凸柱的所述塑封体上通过重布线工艺完成扇出型晶圆级封装。
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