发明授权
- 专利标题: 一种扇出型晶圆级封装方法
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申请号: CN201510042106.2申请日: 2015-01-27
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公开(公告)号: CN104681456B公开(公告)日: 2017-07-14
- 发明人: 王宏杰 , 刘一波 , 陈峰 , 上官东恺 , 孙鹏
- 申请人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- 专利权人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 当前专利权人: 江苏中科智芯集成科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- 代理机构: 北京布瑞知识产权代理有限公司
- 代理商 杨晞
- 主分类号: H01L21/56
- IPC分类号: H01L21/56 ; H01L21/60
摘要:
本发明实施例提供了一种扇出型晶圆级封装方法,可适用于小薄芯片并简化了工艺流程。该扇出型晶圆级封装方法包括:在至少一个芯片的正面上分别制备导电凸柱,将所述至少一个芯片的正面朝上贴装于一个载板上,并对所述至少一个芯片进行塑封,使得塑封后所述导电凸柱的顶端外露在塑封体之外;在外露导电凸柱的所述塑封体上通过重布线工艺完成扇出型晶圆级封装。
公开/授权文献
- CN104681456A 一种扇出型晶圆级封装方法 公开/授权日:2015-06-03
IPC分类: