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发明公开
CN104684841A 微电子机械系统和使用方法 无效 - 撤回

  • 专利标题： 微电子机械系统和使用方法
  • 专利标题（英）： Microelectromechanical system and methods of use
  • 申请号： CN201380042767.4
    申请日： 2013-05-31
  • 公开(公告)号： CN104684841A
    公开(公告)日： 2015-06-03
  • 发明人: J·V·克拉克
  • 申请人： 普渡研究基金会
  • 申请人地址： 美国印第安纳州
  • 专利权人： 普渡研究基金会
  • 当前专利权人： 普渡研究基金会
  • 当前专利权人地址： 美国印第安纳州
  • 代理机构： 北京泛华伟业知识产权代理有限公司
  • 代理商 徐舒
  • 优先权： 61/659179 2012.06.13 US; 61/659068 2012.06.13 US; 61/723927 2012.11.08 US; 61/724325 2012.11.09 US; 61/724482 2012.11.09 US; 61/724400 2012.11.09 US
  • 国际申请： PCT/US2013/043595 2013.05.31
  • 国际公布： WO2013/188131 EN 2013.12.19
  • 进入国家日期： 2015-02-11
  • 主分类号： B81B7/00
  • IPC分类号： B81B7/00 ;  G01C19/56 ;  G01P15/00
微电子机械系统和使用方法
摘要：
测量微电子机械系统(MEMS)中的可移动质量的位移的方法包括抵靠着两个位移停止表面驱动所述质量以及测量诸如梳齿的感测电容器的对应差动电容。描述了具有位移停止表面的MEMS装置。在测量具有悬臂和偏转传感器的原子力显微镜(AFM)的属性的方法中、或者在具有用于感测被允许沿着位移轴振动的可移动质量的位移感测单元的温度传感器中，能够使用这种MEMS装置。运动测量装置能够包括90°异相地驱动的加速计和回转仪对。
摘要（英）：

Methods of measuring displacement of a movable mass in a microelectro- mechanical system (MEMS) include driving the mass against two displacement-stopping surfaces and measuring corresponding differential capacitances of sensing capacitors such as combs. A MEMS device having displacement-stopping surfaces is described. Such a MEMS device can be used in a method of measuring properties of an atomic force microscope (AFM) having a cantilever and a deflection sensor, or in a temperature sensor having a displacement-sensing unit for sensing a movable mass permitted to vibrate along a displacement axis. A motion-measuring device can include pairs of accelerometers and gyroscopes driven 90 DEG out of phase.

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