晶体管的形成方法
摘要:
一种晶体管的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底表面具有栅极结构;在所述栅极结构两侧的衬底内形成第一掺杂区;在所述栅极结构两侧的衬底内形成应力层,所述应力层的厚度小于第一掺杂区的深度,所述第一掺杂区的底部包围所述应力层的底部,所述应力层内具有第二掺杂区,所述第二掺杂区和第一掺杂区构成源区和漏区。所形成的晶体管性能提高。
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