发明公开
- 专利标题: 晶体管的形成方法
- 专利标题(英): Transistor formation method
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申请号: CN201310673659.9申请日: 2013-12-10
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公开(公告)号: CN104701177A公开(公告)日: 2015-06-10
- 发明人: 赵猛
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336
摘要:
一种晶体管的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底表面具有栅极结构;在所述栅极结构两侧的衬底内形成第一掺杂区;在所述栅极结构两侧的衬底内形成应力层,所述应力层的厚度小于第一掺杂区的深度,所述第一掺杂区的底部包围所述应力层的底部,所述应力层内具有第二掺杂区,所述第二掺杂区和第一掺杂区构成源区和漏区。所形成的晶体管性能提高。
公开/授权文献
- CN104701177B 晶体管的形成方法 公开/授权日:2018-07-10
IPC分类: