发明授权
- 专利标题: 技术夹层结构
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申请号: CN201510136399.0申请日: 2015-03-26
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公开(公告)号: CN104713175B公开(公告)日: 2017-07-21
- 发明人: 马小刚 , 郭辉旭 , 张子谦 , 周亮
- 申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构: 北京聿宏知识产权代理有限公司
- 代理商 吴大建; 刘华联
- 主分类号: F24F3/16
- IPC分类号: F24F3/16 ; F24F11/04 ; F24F13/28
摘要:
本发明公开了一种技术夹层结构,其包括:设置有进风口的顶板;与所述顶板平行的且设置有下出风口的底板;设置在所述下出风口的下过滤装置;以及两端均分别连接所述顶板和所述底板的若干侧板,所述侧板还包括靠近所述底板的若干侧出风口,其中,所述侧板、所述顶板和所述底板围合成盒形结构。这种技术夹层结构内的紊流少,灰尘不容易在底板的上表面沉积,容易保持洁净室内的微粒洁净清洁度在较高的水平。
公开/授权文献
- CN104713175A 技术夹层结构 公开/授权日:2015-06-17