Invention Grant
- Patent Title: 一种旋转电机的运行控制方法和装置
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Application No.: CN201310753314.4Application Date: 2013-12-31
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Publication No.: CN104753401BPublication Date: 2017-07-21
- Inventor: 张京华
- Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- Applicant Address: 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
- Assignee: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- Current Assignee: 北京北方华创微电子装备有限公司
- Current Assignee Address: 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
- Agency: 北京润泽恒知识产权代理有限公司
- Agent 赵娟
- Main IPC: H02P1/40
- IPC: H02P1/40
Abstract:
本发明实施例提供了一种旋转电机的运行控制方法和装置,所述旋转电机驱动旋转托盘转动,所述托盘上放置有物料,所述方法包括:计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲;计算物料从所述旋转托盘中的当前位置移动到目标位置的正向间隔数和反向间隔数;依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向,确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲;采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转,将所述物料从当前位置移动到目标位置。本发明通过添加补偿脉冲,克服了齿轮空隙的影响,实现了逆向旋转,提高了物料传输的效率,进而提高了生产的效率。
Public/Granted literature
- CN104753401A 一种旋转电机的运行控制方法和装置 Public/Granted day:2015-07-01
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