一种激光双波段高反射介质膜及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种激光双波段高反射介质膜及其制备方法,属于光学器件技术领域。该高反射介质膜包括基底以及附着于基底上的光学膜系,该光学膜系由二氧化钛和二氧化硅交替叠加构成,特征结构为|(HLH)^N S|。本发明的双波段高反射介质膜的设计结构简单,选用的TiO2薄膜和SiO2薄膜材料常见,工艺容易实现。本发明的双波段高反射膜具有对两波段光高反射率的特点,对790nm~860nm波段及1500nm~1650nm波段的反射率均大于99.5%。对其它波段光的反射率较低,具有一定的滤光作用。本发明的双波段高反射膜具有对激光能量的吸收少、能量损失小,光学性能稳定,膜层牢固可靠等特点。
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