本公开涉及物质组合物，所述物质组合物被描述为具有通式RA‑NH‑C(O)‑N(R4)‑R11‑[O‑C(O)NH‑RS]n或RS‑NH‑C(O)‑N(R4)‑R11‑[O‑C(O)NH‑RA]n的脲(多)‑氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯‑硅烷。本公开还描述了制品，其包括基底、所述基底的主表面上的基础(共)聚合物层、所述基础(共)聚合物层上的氧化物层；以及所述氧化物层上的保护性(共)聚合物层，所述保护性(共)聚合物层包含至少一种脲(多)‑氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯‑硅烷前体化合物的反应产物。所述基底可为(共)聚合物膜或电子器件，诸如有机发光器件、电泳发光器件、液晶显示器、薄膜晶体管、或它们的组合。本公开还描述了制备此类脲(多)‑氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯‑硅烷前体化合物的方法及其在复合膜和电子器件中的用途。本公开还描述了将多层复合膜用作制品中的阻隔膜的方法，所述制品选自固态发光器件、显示器器件和光伏器件。