全频段高精度非球面光学元件的加工方法
摘要:
本发明公开了一种全频段高精度非球面加工方法,该方法主要包括以下步骤:1)用干涉仪检测铣磨成形后的待加工非球面面形;2)根据待加工面形误差数据,选择合适的柔性抛光小工具,结合该小工具的去除函数,确定数控机床的加工参数。3)将待加工非球面元件放置在机床加工平台上,输入加工参数,并采用变步距螺旋加工路径执行抛光工艺。4)一个周期抛光结束后,对非球面元件进行面形检测,根据面形误差数据的反馈情况,重复步骤2、3、4直至非球面的低频面形精度达标。5)对低频面形精度达标的面形数据进行PSD分析,根据PSD曲线确定的中高频误差频率分布特征,选择较大口径的柔性抛光小工具,再对非球面元件进行光顺工艺加工,重复数次直至中高频误差得到有效控制。本发明实现了仅使用CCOS数控小磨头机床便完成了非球面光学元件的全频段高精度加工。
公开/授权文献
0/0