工序监视诊断装置具备：分类部；模型构建部，具有识别部及异常检测用数据定义部；以及监视诊断部，具有提取部及异常等级判断部。分类部基于属性信息对工序数据或者时序数据进行分类。识别部基于被分类的时序数据制作日常模式数据和非日常模式数据。异常检测用数据定义部基于非日常模式数据制作异常诊断模型。提取部提取被分类的工序数据相对于日常模式数据的背离度。异常等级判断部将背离度应用于异常诊断模型来计算异常检测用数据和阈值，并基于异常检测用数据是否超过阈值判断异常等级。