发明授权
- 专利标题: 碳化硅功率元件
-
申请号: CN201410027152.0申请日: 2014-01-21
-
公开(公告)号: CN104795435B公开(公告)日: 2017-11-24
- 发明人: 李传英 , 李隆盛 , 颜诚廷 , 洪建中
- 申请人: 瀚薪科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市埔顶路18号6楼之5
- 专利权人: 瀚薪科技股份有限公司
- 当前专利权人: 上海瀚薪科技有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市埔顶路18号6楼之5
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 余刚; 李静
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L29/78 ; H01L29/872
摘要:
一种碳化硅功率元件,包含有一碳化硅基板、一功率元件结构及一终端结构。该碳化硅基板具有一漂移层,该漂移层具有一第一导电性并包含有一主动区域及一终端区域;该功率元件结构设置于该主动区域;而该终端结构设置于该终端区域并具有一第二导电性,该终端结构包含有至少一围绕于该功率元件结构的外侧并与该功率元件结构相邻的第一掺杂环及至少一围绕该第一掺杂环的第二掺杂环。据此,本发明通过设置该第一掺杂环具有一小于该第二掺杂环的第一掺杂浓度以及一大于该第二掺杂环的第一掺杂深度,提高该碳化硅功率元件的崩溃电压。
公开/授权文献
- CN104795435A 碳化硅功率元件 公开/授权日:2015-07-22
IPC分类: