碳化硅功率元件
摘要:
一种碳化硅功率元件,包含有一碳化硅基板、一功率元件结构及一终端结构。该碳化硅基板具有一漂移层,该漂移层具有一第一导电性并包含有一主动区域及一终端区域;该功率元件结构设置于该主动区域;而该终端结构设置于该终端区域并具有一第二导电性,该终端结构包含有至少一围绕于该功率元件结构的外侧并与该功率元件结构相邻的第一掺杂环及至少一围绕该第一掺杂环的第二掺杂环。据此,本发明通过设置该第一掺杂环具有一小于该第二掺杂环的第一掺杂浓度以及一大于该第二掺杂环的第一掺杂深度,提高该碳化硅功率元件的崩溃电压。
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