- 专利标题: 热流传感器,包括至少一个此类传感器的气体传感器以及包括至少一个此类传感器的皮拉尼规
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申请号: CN201380060312.5申请日: 2013-09-17
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公开(公告)号: CN104797930B公开(公告)日: 2017-07-18
- 发明人: 耶雷米·鲁伦 , 劳伦特·杜拉福格 , 朱利恩·阿卡莫尼 , 菲利浦·安德勒茨 , 艾瑞克·克莱特
- 申请人: 原子能和替代能源委员会
- 申请人地址: 法国巴黎
- 专利权人: 原子能和替代能源委员会
- 当前专利权人: 原子能和替代能源委员会
- 当前专利权人地址: 法国巴黎
- 代理机构: 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理商 徐川; 武晨燕
- 优先权: 1258794 20120919 FR
- 国际申请: PCT/EP2013/069239 2013.09.17
- 国际公布: WO2014/044663 FR 2014.03.27
- 进入国家日期: 2015-05-19
- 主分类号: G01N27/18
- IPC分类号: G01N27/18 ; G01N30/66
摘要:
本发明涉及一种热流传感器,该热流传感器包括悬挂到支撑件上的至少一个第一悬挂元件(2),所述第一悬挂元件(2)由导电材料制成,所述悬挂元件(2)的第一偏置装置(6)以及用于测量悬挂元件(2)的末端处的电压的变化的第一测量装置(8),所述第一悬挂元件(2)由纳米线形成,并且所述第一偏置装置(6)由交变电流源形成,所述交变电流源的强度通过焦耳效应加热第一悬挂元件(2)。所述传感器能够采用多个悬挂纳米线的形式并能够基于气体的热导率测量的原理被用作气体传感器。
公开/授权文献
- CN104797930A 热流传感器,包括至少一个此类传感器的气体传感器以及包括至少一个此类传感器的皮拉尼规 公开/授权日:2015-07-22