一种集成电路及其制造方法
Abstract:
本发明提供一种集成电路及其制造方法,涉及半导体技术领域。本发明的集成电路,包括串联的晶体管以及位于串联的晶体管的栅极之间的密闭腔体,可以实现晶体管的漏极与栅极的低介电绝缘,从而降低漏极与栅极间的耦合电容,提高集成电路的性能。本发明的集成电路的制造方法,用于制造上述集成电路,制备的集成电路同样具有上述优点。
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