溅射靶用铜合金制热轧板及溅射靶
摘要:
一种对通过连续铸造法所铸造的铸块进行热轧而成的热轧板,本发明的热轧板由含有0.5~10.0原子%的Ca且剩余部分由Cu及不可避免的杂质所成的铜合金所构成,并且Cu基体中的Cu‑α相结晶粒的平均粒径在5~60μm的范围内。
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