一种粉尘浓度检测装置及检测方法
Abstract:
本发明公开了一种粉尘浓度检测装置,该检测装置包括淀积电阻、悬臂梁、玻璃衬底、锥状电极和硅衬底;其中,悬臂梁的端面与硅衬底的端面固定连接,淀积电阻位于悬臂梁与硅衬底接触部位的顶部,且淀积电阻连接悬臂梁与硅衬底;淀积电阻的两端由金属导线引出;锥状电极固定连接在硅衬底上表面,且锥状电极的表面设有钛铜合金层;玻璃衬底位于锥状电极的上方,玻璃衬底上设有通孔,且玻璃衬底的表面设有镍涂层。还公开了粉尘浓度检测方法。该检测装置和方法避免了传统的检测装置体积大响应慢的问题,具有便于携带,响应迅速的特点。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0