Invention Grant
CN104819918B 一种粉尘浓度检测装置及检测方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种粉尘浓度检测装置及检测方法
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Application No.: CN201510220545.8Application Date: 2015-05-04
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Publication No.: CN104819918BPublication Date: 2017-08-04
- Inventor: 陈洁 , 惠肇宇
- Applicant: 东南大学
- Applicant Address: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- Assignee: 东南大学
- Current Assignee: 东南大学
- Current Assignee Address: 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
- Agency: 南京瑞弘专利商标事务所
- Agent 杨晓玲
- Main IPC: G01N15/06
- IPC: G01N15/06
Abstract:
本发明公开了一种粉尘浓度检测装置,该检测装置包括淀积电阻、悬臂梁、玻璃衬底、锥状电极和硅衬底;其中,悬臂梁的端面与硅衬底的端面固定连接,淀积电阻位于悬臂梁与硅衬底接触部位的顶部,且淀积电阻连接悬臂梁与硅衬底;淀积电阻的两端由金属导线引出;锥状电极固定连接在硅衬底上表面,且锥状电极的表面设有钛铜合金层;玻璃衬底位于锥状电极的上方,玻璃衬底上设有通孔,且玻璃衬底的表面设有镍涂层。还公开了粉尘浓度检测方法。该检测装置和方法避免了传统的检测装置体积大响应慢的问题,具有便于携带,响应迅速的特点。
Public/Granted literature
- CN104819918A 一种粉尘浓度检测装置及检测方法 Public/Granted day:2015-08-05
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