发明授权
- 专利标题： 具备防振装置的曝光装置
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申请号： CN201380063011.8申请日： 2013-10-08
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公开(公告)号： CN104838470B公开(公告)日： 2018-09-21
- 发明人: 佐藤真路
- 申请人： 株式会社尼康
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社尼康
- 当前专利权人： 株式会社尼康
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 陈伟; 王娟娟
- 优先权： 2012-227214 2012.10.12 JP
- 国际申请： PCT/JP2013/077309 2013.10.08
- 国际公布： WO2014/057925 JA 2014.04.17
- 进入国家日期： 2015-06-02
- 主分类号： H01L21/027
- IPC分类号： H01L21/027
摘要：
一种曝光装置，经由光学部件(13)与基板(P)之间的液体(LQ)以曝光用光对基板进行曝光，该曝光装置具备装置框架(8B)、包括光学部件的光学系统、包括配置于光学部件周围的至少一部分的第1部件(21)和配置于光学部件周围的至少一部分的第2部件(22)并且能够形成液浸空间的液浸部件(5)、能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置(56)，和防振装置(55)，经由防振装置(55)将第1部件支承于装置框架。
公开/授权文献
- CN104838470A 具备防振装置的曝光装置 公开/授权日：2015-08-12
IPC分类:
