一种非限制式金属雾化沉积喷嘴系统
摘要:
本发明公开了一种非限制式金属雾化沉积喷嘴系统,包括雾化盘(3),所述雾化盘(3)的中部设有金属液流通道(4),在金属液流通道(4)周侧的雾化盘(3)内设有气体环流型腔(2),在雾化盘(3)的圆周上设有连通气体环流型腔(2)的第一进气管(1)和第二进气管(6)且在雾化盘(3)的底部设有连通气体环流型腔(2)的喷管接口(5),喷管接口(5)沿气体环流型腔(2)的圆周均匀布置且喷管接口(5)上分别间隔安装的亚音速喷管和超音速喷管,亚音速喷管和超音速喷管中喷出的气流构成雾化锥对自由下落入雾化锥内的金属液流进行二级雾化。本发明的喷嘴系统雾化后的熔滴均匀细小,使沉积到基板上的基体组织细小而致密。
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