本发明的金属表面处理装置，对加热至可进行表面处理的温度的对象金属进行表面处理，包含反应腔室和处理气体供应部，所述反应腔室构成为与所述对象金属的外表面形状对应的形状，布置为与所述对象金属外表面的间隔在预定值内，并能收容所述对象金属的至少一部分，所述处理气体供应部向收容在所述反应腔室内的对象金属侧供应自催化反应所需的处理气体。并且，利用该装置的金属表面处理方法，包含如下步骤：将对象金属置放于反应腔室内，所述反应腔室构成为与所述对象金属的外表面形状对应的形状，布置为与所述对象金属外表面的间隔在预定值内，并能收容所述对象金属的至少一部分；通过处理气体供应部向所述反应腔室内供应处理气体而在所述对象金属上通过自催化反应形成处理气体层。