本发明公开了一种氟氧化物荧光粉及其制备方法。该荧光粉包含无机化合物，该无机化合物由元素M1、M2、M3以及O、F组成，其中M1元素选自Ba、Sr、Ca、Mg及Zn中的一种或两种，必含Ba；M2元素选自Sc、Al、Ga、Y、La、Gd及Lu中的一种或两种，必含Sc；M3元素选自Mn、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Tb、Dy、Ho、Er、Tm及Yb中的一种或两种，必含Eu；并且该无机化合物具有与Ba2ScO3F相同的晶体结构。其制备方法为：以M1、M2、M3以及F所对应的化合物作为原料，研细，混匀，在空气中，置于温度为1100～1500℃的高温烧结炉里烧结0.5～20小时，经破碎、研磨、分级后处理即得。本发明的荧光粉具有优良的发光性能，在紫外和蓝光区域有较强的激发。本发明荧光粉的制备方法简单、易于操作。