Invention Grant
CN104880754B 亚波长三维螺旋圆偏振滤光片及其制作方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 亚波长三维螺旋圆偏振滤光片及其制作方法
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Application No.: CN201510199322.8Application Date: 2015-04-24
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Publication No.: CN104880754BPublication Date: 2017-07-07
- Inventor: 王钦华 , 胡敬佩 , 李瑞彬 , 赵效楠 , 许富洋
- Applicant: 苏州大学
- Applicant Address: 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号
- Assignee: 苏州大学
- Current Assignee: 苏州大学
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号
- Agency: 苏州创元专利商标事务所有限公司
- Agent 陶海锋
- Main IPC: G02B5/20
- IPC: G02B5/20
Abstract:
本发明公开了一种亚波长三维螺旋圆偏振滤光片及其制作方法，该圆偏振滤光片的制作方法包括如下步骤：（1）在二氧化硅基片上旋涂光刻胶；（2）采用激光直写系统直接在光刻胶上写出三维螺旋纳米柱结构并进行显影；（3）通入氧气，采用反应离子束进行刻蚀，去除残余光刻胶；（4）在转移好的二氧化硅基片及三维螺旋纳米柱结构上采用磁控溅射方法镀上金属薄膜层。本发明能够实现对左右旋圆偏振光的区分，并具有结构简单，易于制作的特点。
Public/Granted literature
- CN104880754A 亚波长三维螺旋圆偏振滤光片及其制作方法 Public/Granted day:2015-09-02
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