表面被覆部件及其制造方法
摘要:
本发明提供了一种具有更高稳定性和更长使用寿命的表面被覆部件。该表面被覆部件包括基体以及在其表面上形成的硬质覆膜。该硬质覆膜由至少一层形成,并且所述层中至少一层包含由CVD法形成的多层结构,在该多层结构中,第一单元层和第二单元层交替层叠。第一单元层包含第一化合物,该第一化合物包含Ti以及选自由B、C、N和O构成的组中的至少一种元素。第二单元层包含第二化合物,该第二化合物包含Al以及选自由B、C、N和O构成的组中的至少一种元素。
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