- 专利标题： 图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法
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申请号： CN201480004546.2申请日： 2014-01-15
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公开(公告)号： CN104919305B公开(公告)日： 2017-05-10
- 发明人: 尾崎麻耶
- 申请人： 住友化学株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 住友化学株式会社
- 当前专利权人： 住友化学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 李国华
- 优先权： 2013-005686 20130116 JP
- 国际申请： PCT/JP2014/051157 2014.01.15
- 国际公布： WO2014/112652 JA 2014.07.24
- 进入国家日期： 2015-07-10
- 主分类号： G01N21/892
- IPC分类号： G01N21/892 ; G06T1/00
摘要：
本发明提供一种缺陷检查装置。在缺陷检查装置(100)中，图像生成装置(1)的处理图像生成部(61)，生成由针对缺陷像素存储有表示与特征量相应的灰度值的灰度信息、针对剩余像素存储有表示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据，分析用图像生成部(62)，按照每个像素，生成由在所述灰度信息存储位串中附加存储有缺陷信息的缺陷信息存储位串而得到分析用位串构成分析用图像数据。
公开/授权文献
- CN104919305A 图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法 公开/授权日：2015-09-16
