一种三氯氢硅制备硅烷的设备及其方法
摘要:
本发明公开了一种三氯氢硅制备硅烷的设备及其方法,特点是包括自下而上直径依次递减且相互隔开的下段筒体、中段筒体和上段筒体,下段筒体顶端设置有下段顶部液体入口和下段顶部气体出口,下段顶部液体入口内伸至下段筒体内的中心且连接进料分布管,进料分布管的下方设置有一下段催化剂层,下段催化剂层下方设置有两层下段填料层,中段筒体顶部设置有中段顶部液体入口和中段顶部气体出口,中段筒体内在中段顶部液体入口下方设置有中段液体分布器,中段液体分布器下方设置有中段催化剂层,上段筒体顶部设置有上段顶部液体入口,顶部封头上设置有上段顶部气体出口,优点是工艺流程简单、使用配套设备少,包含了两台硅烷反应器和两台精馏塔。
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