Invention Grant
- Patent Title: 一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置及其使用方法和该装置中驱动器运动距离的测量方法
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Application No.: CN201510336431.XApplication Date: 2015-06-17
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Publication No.: CN104931732BPublication Date: 2018-03-06
- Inventor: 边义祥 , 夏咸龙
- Applicant: 扬州大学
- Applicant Address: 江苏省扬州市大学南路88号
- Assignee: 扬州大学
- Current Assignee: 扬州大学
- Current Assignee Address: 江苏省扬州市大学南路88号
- Agency: 扬州苏中专利事务所
- Agent 许必元
- Main IPC: G01Q60/14
- IPC: G01Q60/14 ; G01Q10/00
Abstract:
一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置及其使用方法和该装置中驱动器运动距离的测量方法,基座通过导轨安装在底座上,基座中部设有滑槽,模板置于该滑槽中,基座中心位置设有可视窗;横梁置于一端与基座连接,侧梁一端与支撑腿连接,另一端设有驱动器;电极一端安装在侧梁上,另一端透过可视窗指向模板表面,电极指向模板的一端与模板表面的距离为0.01‑100nm。本发明通过产生的隧道电流效应来扫描被测物体的表面,通过电流大小的不一样得到被测物体表面的立体形态。
Public/Granted literature
- CN104931732A 一种微纳金属纤维表面形貌的测量装置及其使用方法和该装置中驱动器运动距离的测量方法 Public/Granted day:2015-09-23
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