电磁波-高频混性等离子体炬
摘要:
本发明的目的在于提供一种能够解决现有高频等离子体炬的问题,以克服高频等离子体快速淬火问题及相应的不稳定性问题的等离子体炬。根据用于达成上述目的的本发明一个实施例,本发明可以公开一种电磁波-高频混性等离子体炬。所述电磁波-高频混性等离子体炬可以包括:电磁波振荡器,其发生电磁波;电源供应部,其向所述电磁波振荡器供应电源;电磁波传输线路,其传输所述电磁波振荡器发生的电磁波;第一等离子体形成气体供应部,其注入等离子体形成气体;电磁波放电管,其通过从所述电磁波传输线路流入的电磁波与从所述第一等离子体形成气体供应部注入的等离子体形成气体发生等离子体;高频放电管,其接收从所述电磁波放电管流入的电磁波等离子体流;感应线圈结构体,其与所述高频放电管同轴,内部设置有感应线圈;冷却水流路,其以所述高频放电管为中心流入和排出冷却水;以及第二等离子体形成气体供应部,其向所述高频放电管流入等离子体形成气体。
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