利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明公开
CN104969331A 物理气相沉积射频直流开/闭环可选的磁控管 有权

  • 专利标题： 物理气相沉积射频直流开/闭环可选的磁控管
  • 专利标题（英）： PVD RF DC OPEN/CLOSED LOOP SELECTABLE MAGNETRON
  • 申请号： CN201480007630.X
    申请日： 2014-01-13
  • 公开(公告)号： CN104969331A
    公开(公告)日： 2015-10-07
  • 发明人: 基思·A·米勒
  • 申请人： 应用材料公司
  • 申请人地址： 美国加利福尼亚州
  • 专利权人： 应用材料公司
  • 当前专利权人： 应用材料公司
  • 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
  • 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
  • 代理商 徐金国; 赵静
  • 优先权： 13/761,267 2013.02.07 US
  • 国际申请： PCT/US2014/011304 2014.01.13
  • 国际公布： WO2014/123662 EN 2014.08.14
  • 进入国家日期： 2015-08-05
  • 主分类号： H01L21/203
  • IPC分类号： H01L21/203
物理气相沉积射频直流开/闭环可选的磁控管
摘要：
本文提供用于磁控管组件的方法与设备。在一些实施方式中，一种磁控管组件包括：第一板，所述第一板具有第一中心轴，所述第一板能绕所述第一中心轴旋转；第一开环磁极，所述第一开环磁极耦接于所述第一板；第二板，所述第二板具有第二中心轴，所述第二板能绕所述第二中心轴旋转；以及第二开环磁极，所述第二开环磁极耦接所述第二板，其中当所述第一开环磁极与所述第二开环磁极对准时，所述第一开环磁极与所述第二开环磁极形成闭环磁极。
摘要（英）：

Methods and apparatus for a magnetron assembly are provided herein. In some embodiments, a magnetron assembly includes a first plate having a first central axis, the first plate rotatable about the first central axis, a first open loop magnetic pole coupled to the first plate, a second plate having a second central axis, the second plate rotatable about the second central axis, and a second open loop magnetic pole coupled the second plate, wherein the first open loop magnetic pole and the second open loop magnetic pole form a closed loop magnetic pole when the first and second open loop magnetic poles are aligned.

公开/授权文献
0/0