发明授权
- 专利标题: 一种器件封装互联方法
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申请号: CN201410135393.7申请日: 2014-04-04
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公开(公告)号: CN104979224B公开(公告)日: 2017-10-20
- 发明人: 苏瑞巩 , 黄宏娟 , 李晓伟 , 时文华 , 熊敏 , 张宝顺
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
- 代理机构: 南京利丰知识产权代理事务所
- 代理商 王锋
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60
摘要:
本发明提供了一种器件封装互联方法,包括如下步骤:(1)提供具有上、下台面电极的半导体芯片,其中,上台面电极高于下台面电极;(2)在所述上、下台面电极上分别施加焊料;(3)对焊料进行回流处理,使分布在所述上、下台面电极上的焊料分别形成第一和第二半球形,并且所述第二半球形的顶端与第一半球形的顶端处于同一水平面上;(4)将半导体芯片与导电基底之间通过焊料倒装互联,并在半导体芯片与导电基底之间填充封装材料。本发明通过在芯片的上、下台面上施加直径不同的焊料,经过回流,实现芯片高度差填平,操作简便快捷,并与现有工艺兼容,能够实现芯片的大面积可靠倒装封装。
公开/授权文献
- CN104979224A 一种器件封装互联方法 公开/授权日:2015-10-14
IPC分类: