具有复合低K电流阻挡层的垂直氮化镓基异质结场效应管
摘要:
本发明公开了具有复合低K电流阻挡层的垂直氮化镓基异质结场效应管,从上至下主要由势垒层、沟道层、n+‑GaN衬底、漏极组成,在所述势垒层上部设有源极和栅极,而在沟道层与n+‑GaN衬底之间设有电流阻挡层、n‑GaN缓冲层,在所述电流阻挡层中心设有宽度为LAP的孔径,该孔径嵌套在n+‑GaN衬底上部;且电流阻挡层由绝缘电介质构成,并在电流阻挡层内设有低K绝缘电介质层。本发明通过在电流阻挡层内引入低K绝缘电介质层,使得本发明的器件击穿电压达到GaN材料耐压极限。此外,本器件结构不存在p型掺杂制作的困难,且绝缘介质对电流的阻挡效果也超过利用p‑GaN对电流进行阻挡,截止状态下漏极泄漏电流也将有所降低。
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