- 专利标题: 具有复合低K电流阻挡层的垂直氮化镓基异质结场效应管
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申请号: CN201510367028.3申请日: 2015-06-29
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公开(公告)号: CN104992971B公开(公告)日: 2020-01-24
- 发明人: 杜江锋 , 刘东 , 白智元 , 潘沛霖 , 于奇
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 成都君合集专利代理事务所
- 代理商 廖曾
- 主分类号: H01L29/772
- IPC分类号: H01L29/772 ; H01L29/06
摘要:
本发明公开了具有复合低K电流阻挡层的垂直氮化镓基异质结场效应管,从上至下主要由势垒层、沟道层、n+‑GaN衬底、漏极组成,在所述势垒层上部设有源极和栅极,而在沟道层与n+‑GaN衬底之间设有电流阻挡层、n‑GaN缓冲层,在所述电流阻挡层中心设有宽度为LAP的孔径,该孔径嵌套在n+‑GaN衬底上部;且电流阻挡层由绝缘电介质构成,并在电流阻挡层内设有低K绝缘电介质层。本发明通过在电流阻挡层内引入低K绝缘电介质层,使得本发明的器件击穿电压达到GaN材料耐压极限。此外,本器件结构不存在p型掺杂制作的困难,且绝缘介质对电流的阻挡效果也超过利用p‑GaN对电流进行阻挡,截止状态下漏极泄漏电流也将有所降低。
公开/授权文献
- CN104992971A 具有复合低K电流阻挡层的垂直氮化镓基异质结场效应管 公开/授权日:2015-10-21
IPC分类: