用来改变流动以侵蚀固体化学品的方法和设备
摘要:
提供一种用来从产品和流体获得化学产品的方法和设备。产品被容纳在分配器内。流体通过具有多个端口的歧管扩散构件被引入。盖子布置成邻近歧管扩散构件并且包括多个端口。盖子能够被调节(例如,通过旋转盖子)以对准和不对准歧管扩散构件端口和盖子端口。这个调节控制通过歧管扩散构件和盖子的流体的流动特性以控制与产品接触的流体的特性。用来控制流动的盖子的调节将基于流体的特性和关于产品的流体的流动之间的已知关系提供基本上一致的浓度和侵蚀速率。
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