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一种激光干涉位移测量系统
摘要:
本发明公开了一种激光干涉位移测量系统。包括激光器、起偏器、消偏振分光棱镜、偏振分光棱镜、1/4波片、角锥镜、平面反射镜和光电探测器。测量光入射移动角锥镜,由角锥镜位移引起原路反射回来的光的光程变化是角锥镜位移的四倍。该设计中通过偏振光学原理使测量光沿相同方向总共两次进出移动角锥镜,实现测量光与参考光光程差变化与角锥镜位移的八倍程关系,从而实现对位移的光学八倍细分测量。该系统具有测量分辨率高、测量结果准确的优点,且结构上安装方便、简单,价格低廉,适用范围广。
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