发明公开
- 专利标题: NOx传感器的基于纳秒-皮秒-飞秒激光复合技术的3D打印制备方法
- 专利标题(英): 3D printing preparation method based on nanosecond-picosecond-femtosecond laser compound technology for NOx sensor
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申请号: CN201510356921.6申请日: 2015-06-25
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公开(公告)号: CN105014769A公开(公告)日: 2015-11-04
- 发明人: 刘胜 , 付兴铭 , 刘亦杰 , 郑怀 , 杨军 , 曹钢 , 吴登峰
- 申请人: 武汉大学 , 武汉飞恩微电子有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
- 专利权人: 武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司
- 当前专利权人: 武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
- 代理机构: 武汉科皓知识产权代理事务所
- 代理商 张火春
- 主分类号: B28B1/00
- IPC分类号: B28B1/00 ; B28B17/00 ; C04B35/64
摘要:
本发明公开了一种NOx传感器的基于纳秒-皮秒-飞秒激光复合技术的3D打印制备方法,属于NOx传感器领域。该方法包括如下步骤:(1)在工作平台上铺设原材料粉末并预热;(2)采用纳秒激光对工作平台上的原料进行烧结熔化,同时采用实时监控系统检测传感器各打印层结构的精度;(3)依次反复重复步骤(1)和(2),直到完成NOx传感器的制备。其优点是:本发明有效避免现今激光烧结过程中出现的吹粉,残余应力等复杂问题,可以省去补偿步骤;本发明实现了更精确的尺寸控制和电阻阻值控制,工艺更简单不需要后续修阻,具有更好的一致性。