发明公开
CN105045048A 一种曝光基台和曝光设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种曝光基台和曝光设备
- 专利标题(英): Exposure base platform and exposure device
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申请号: CN201510591090.0申请日: 2015-09-16
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公开(公告)号: CN105045048A公开(公告)日: 2015-11-11
- 发明人: 史高飞
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 罗瑞芝; 陈源
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明提供一种曝光基台和曝光设备。该曝光基台包括底座以及设置在底座上的多个基台本体和多个举起部,基台本体与举起部交错并间隔设置,基台本体用于承载待曝光基板;举起部用于将待曝光基板传送至基台本体上,基台本体包括靠近举起部设置的第一结构,举起部包括位于其用于与待曝光基板相接触一端的第二结构,第一结构和第二结构相互配合能使照射至基台本体与举起部之间间隔区域的曝光光线照射至第一结构上。该曝光基台能使入射至基台本体与举起部之间间隔区域的曝光光线发生反射的光程差减小,从而使该曝光基台在对应间隔区域的区域和对应基台本体承载面的区域对待曝光基板的曝光更加均匀。
公开/授权文献
- CN105045048B 一种曝光基台和曝光设备 公开/授权日:2017-05-03