发明公开
- 专利标题: 引线接合装置以及引线接合方法
- 专利标题(英): Lead bonding device and lead bonding method
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申请号: CN201510101427.5申请日: 2015-03-09
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公开(公告)号: CN105047572A公开(公告)日: 2015-11-11
- 发明人: 百濑文彦 , 齐藤隆 , 木户和优 , 西村芳孝
- 申请人: 富士电机株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 富士电机株式会社
- 当前专利权人: 富士电机株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇
- 优先权: 2014-085666 2014.04.17 JP
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60
摘要:
提供一种能够将直径500μm以上且600μm以下的引线接合到半导体元件上的电极的引线接合装置以及引线接合方法。在本发明的引线接合装置、即通过引线接合来对电极与铝合金制的引线进行电连接的引线接合装置(100)中,具备:引线提供装置(10),其用于提供直径500μm以上且600μm以下的引线(6);加热装置(11),其用于将引线(6)加热到50℃以上且100℃以下;加压装置(12),其用于在电极(2、7)处对引线(6)进行加压;以及超声波产生装置(13),其用于对由加压装置(12)加压后的引线(6)施加超声波振动。
公开/授权文献
- CN105047572B 引线接合装置以及引线接合方法 公开/授权日:2019-07-05