引线接合装置以及引线接合方法
摘要:
提供一种能够将直径500μm以上且600μm以下的引线接合到半导体元件上的电极的引线接合装置以及引线接合方法。在本发明的引线接合装置、即通过引线接合来对电极与铝合金制的引线进行电连接的引线接合装置(100)中,具备:引线提供装置(10),其用于提供直径500μm以上且600μm以下的引线(6);加热装置(11),其用于将引线(6)加热到50℃以上且100℃以下;加压装置(12),其用于在电极(2、7)处对引线(6)进行加压;以及超声波产生装置(13),其用于对由加压装置(12)加压后的引线(6)施加超声波振动。
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